首页 > 产品信息 > 半导体相关生产设备 > EFEM/Sorter "Freedom"系列
支持小型化和高集成度
N2吹扫功能，可在短时间内取代超净技术小型化
丰富的变化，定制支持
可扩展的基本设计可以满足您的所有需求
高度可靠的业绩记录
传承机器人技术 4万台交付记录5年免维护
吞吐量
通过独创的运动技术实现500张/小时的高吞吐量
减少环境负荷
无电池伺服电机
